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半逆流再生是四床五塔式除鹽系統，離子交換處理的工藝流程為：陽床-脫碳-陰床-陽床-陰床。陰、陽樹脂均為強堿、強酸行交換樹脂。第一臺陽床及陰床裝有較多的樹脂，可基本上除去所有的離子；第二臺陽床及陰床的樹脂較少，起精制作用。再生時，酸、堿再生液分別先進入第二臺陰、陽床，再串聯至第一臺的陰、陽床進行再生。各臺交換器均采用順流再生，操作較簡便。此法具有分層再生的意思，由于樹脂失效時，其型態排列陽床為：Ca型-Mg型-Na型-H型，當再生時按其反方向進行，即H型-Na型-Mg型-Ca型，這樣的再生效率較高，因為H置換出Na，又可以繼而置換出Ca、Mg。因此，大大減輕屯由H來置換的負擔，取得了逆流再生相似的效益，故稱為半逆流再生。此法適用于含鹽量較高的除鹽水處理。便投資較大，設備較多。